光刻机最大的曝光范围

指光刻机单次实现曝光所能支持的最大区域范围。

在光刻工艺中，光刻机单次实现曝光所能支持的最大区域范围为曝光区域。先进步进-扫描式光刻机所能支持的最大曝光区域(exposure field)面积是26mm×33mm，而步进式光刻机(stepper)的曝光区域只22mm×22mm。